雙電容接口式微機械陀螺的信號檢測方法

在研究雙電容接口式微機械陀螺結(jié)構(gòu)與分析傳統(tǒng)差分電容檢測方法對其驅(qū)動力的影響的基礎上,提出了一種適合于該陀螺的新型信號檢測方法,此方法具有兩個顯著特點:第一,能夠使公共電容極板偏置到零電壓,消除其對驅(qū)動力的影響,進而提高微機械陀螺的系統(tǒng)靈敏度;第二,能夠消除直流電壓的不匹配以及失調(diào)電壓對輸出信號的影響.最后,通過HSPICE軟件仿真驗證了該方法的可行性.

作 者： 莫冰 劉曉為 譚曉昀 尹亮 丁學偉 湯佳郁 MO Bing LIU Xiao-wei TAN Xiao-yun YIN Liang DING Xue-wei TANG Jia-yu   作者單位： 哈爾濱工業(yè)大學MEMS中心,哈爾濱,150001  刊 名： 傳感技術(shù)學報  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS  年，卷(期)： 2006 19(5)  分類號： V2  關鍵詞： 微機械陀螺   驅(qū)動力   雙電容接口   信號檢測  

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