Z軸硅微機(jī)械陀螺儀溫度特性研究

硅陀螺儀是近年來發(fā)展起來的一種新型角速度傳感器,溫度變化是其主要誤差源之一.分析了溫度變化對(duì)硅微陀螺儀的諧振頻率和品質(zhì)因數(shù)的影響,并選擇常溫下機(jī)械品質(zhì)因數(shù)不同的兩個(gè)陀螺在-40℃～80℃溫度范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)試,得出機(jī)械品質(zhì)因數(shù)和諧振頻率隨溫度變化規(guī)律.實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證了陀螺儀諧振頻率隨溫度升高而線形下降;溫度變化時(shí),封裝陀螺儀抽真空度對(duì)陀螺機(jī)械品質(zhì)因數(shù)產(chǎn)生明顯影響.

作 者： 陳淑鈴 楊波 王壽榮 CHEN Shu-ling YANG Bo WANG Shou-rong   作者單位： 東南大學(xué)儀器科學(xué)與工程學(xué)院,南京,210096  刊 名： 電子器件  ISTIC 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF ELECTRON DEVICES  年，卷(期)： 2008 31(6)  分類號(hào)： V241.59  關(guān)鍵詞： 微機(jī)械陀螺儀   溫度特性  

【Z軸硅微機(jī)械陀螺儀溫度特性研究】相關(guān)文章：

姿態(tài)穩(wěn)定用雙軸陀螺儀04-26

溫度飽和水下的裂隙巖體力學(xué)特性研究*04-27

納米硅鑲嵌復(fù)合薄膜退火前后的微結(jié)構(gòu)及發(fā)光特性研究04-26

懸浮轉(zhuǎn)子式微機(jī)械陀螺儀的研究進(jìn)展04-27

旋轉(zhuǎn)載體用硅微機(jī)械陀螺的相位研究04-27

紅外InGaAs/InP單光子探測(cè)器的溫度特性研究04-26

外源硅對(duì)土壤鎘吸附特性的影響04-25

F-P光纖壓力傳感器的溫度特性研究04-26

太赫茲硅雪崩渡越時(shí)間二極管低溫特性研究04-26

微機(jī)械輪式陀螺儀的結(jié)構(gòu)分析04-27