探測空間原子氧環(huán)境的鋨膜電阻傳感器技術(shù)研究

原子氧密度傳感器可以測量原子氧的通量密度和積分通量.鋨膜電阻是一種小型的、價格低廉的測量軌道原子氧束流密度的傳感器,由于尺寸小、重量輕使其可以用在大部分航天器上,增加了飛行的機(jī)會.文章對北京衛(wèi)星環(huán)境研究所采用電鍍法及紫外線光刻和金屬刻蝕微加工技術(shù)制備鋨膜電阻的研究情況進(jìn)行了介紹.

作 者： 劉向鵬 童靖宇 賈錚 姜利祥 李濤   作者單位： 劉向鵬,童靖宇,姜利祥,李濤(北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所,北京,100094)

賈錚(哈爾濱工業(yè)大學(xué),哈爾濱,150001) 

刊 名： 航天器環(huán)境工程  ISTIC 英文刊名： SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING  年，卷(期)： 2009 26(z1)  分類號： V416.5  關(guān)鍵詞： 原子氧   鋨膜電阻   傳感器   空間探測  

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