利用誤差諧波補(bǔ)償法提高金屬圓光柵測(cè)角精度

提高圓光柵測(cè)角精度的方法除了提高分辨率和系統(tǒng)精度以外,廣泛采用誤差補(bǔ)償方法.本文通過對(duì)新型金屬圓光柵的研究,提出了一種基于軟件的誤差補(bǔ)償方法--誤差諧波補(bǔ)償法.實(shí)驗(yàn)表明該方法可消除一定階次內(nèi)幅值和初相位不隨時(shí)間變化的誤差諧波,有效提高測(cè)角精度.

作 者： 趙人杰 馬文禮 ZHAO Ren-jie MA Wen-li   作者單位： 趙人杰,ZHAO Ren-jie(中國(guó)科學(xué)院,光電技術(shù)研究所,成都,610209中;國(guó)科學(xué)院,研究生院,北京,100039)

馬文禮,MA Wen-li(中國(guó)科學(xué)院,光電技術(shù)研究所,成都,610209) 

刊 名： 儀器儀表用戶  英文刊名： INSTRUMENTATION CUSTOMER  年，卷(期)： 2009 16(3)  分類號(hào)： U463.5  關(guān)鍵詞： 金屬圓光柵   誤差諧波補(bǔ)償法   測(cè)角精度  

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