準(zhǔn)分子激光均束器及其研究進(jìn)展

以準(zhǔn)分子激光在半導(dǎo)體微光刻技術(shù)、脈沖激光沉積、平板顯示器加工制造以及激光鉆孔中的應(yīng)用為例,闡述了準(zhǔn)分子激光光束均勻化的重要性;按照折射光學(xué)元件、衍射光學(xué)元件和混合光學(xué)元件分類的方法,分別對這三類準(zhǔn)分子激光均束器進(jìn)行了介紹,并對其特點(diǎn)、應(yīng)用和進(jìn)展情況進(jìn)行了綜述.

作 者： 裴文彥 周金運(yùn) 林清華   作者單位： 裴文彥(廣東工業(yè)大學(xué)實(shí)驗(yàn)教學(xué)部)

周金運(yùn),林清華(廣東工業(yè)大學(xué)物理與光電工程學(xué)院,廣東,廣州,510006) 

刊 名： 中國科技博覽  英文刊名： ZHONGGUO BAOZHUANG KEJI BOLAN  年，卷(期)： 2009 ""(7)  分類號(hào)： U305.7  關(guān)鍵詞： 準(zhǔn)分子激光   均束器   光刻   加工窗  

【準(zhǔn)分子激光均束器及其研究進(jìn)展】相關(guān)文章：

靜電及其研究進(jìn)展04-30

生態(tài)安全及其研究進(jìn)展04-28

固定化光催化技術(shù)及其適用水處理反應(yīng)器研究進(jìn)展04-26

SELEX技術(shù)及其應(yīng)用的研究進(jìn)展04-27

Survivin及其靶向治療研究進(jìn)展04-26

乳腺細(xì)胞凋亡及其研究進(jìn)展04-29

心房鈉尿肽及其分泌機(jī)制研究進(jìn)展04-27

生物接觸氧化法及其研究進(jìn)展04-26

虎骨及其替代品的研究進(jìn)展04-26

羊痘病毒及其疫苗研究進(jìn)展04-26