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感光薄膜與二維Bragg光柵制備
微細(xì)的二維Bragg光柵在光信息領(lǐng)域有重要應(yīng)用,傳統(tǒng)的干法或濕法蝕刻在高密度格子制備方面有很大難度,研究合成了具有紫外感光性的含鋯溶膠,進(jìn)一步在硅和石英基板上制備了含鋯感光性凝膠薄膜,直接利用這種感光性凝膠薄膜,結(jié)合激光干涉技術(shù)和熱處理過(guò)程,可在硅基板或石英基板上制備出反射型或透過(guò)型二維Bragg格子光柵,X-射線衍射表明,經(jīng)過(guò)熱處理后構(gòu)成格柵的材料為多晶的四方相ZrO2,這類光柵不含有機(jī)物,衍射光符合Bragg條件,格子的周期為1μm,格柵線條或柵孔尺寸約0.5μm.
作 者： 趙高揚(yáng) 張衛(wèi)華 王哲哲 趙衛(wèi) 蔣百靈 作者單位： 趙高揚(yáng),張衛(wèi)華,王哲哲,蔣百靈(西安理工大學(xué),材料科學(xué)與工程學(xué)院,西安,710048)趙衛(wèi)(中國(guó)科學(xué)院,西安精密光學(xué)機(jī)械研究所,西安,710068)
刊 名： 自然科學(xué)進(jìn)展 ISTIC PKU 英文刊名： PROGRESS IN NATURAL SCIENCE 年，卷(期)： 2007 17(2) 分類號(hào)： O6 關(guān)鍵詞： 二氧化鋯 薄膜 感光性 二維格子 激光干涉【感光薄膜與二維Bragg光柵制備】相關(guān)文章：
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