用脈沖電化學法在低HF濃度下制備多孔硅的研究

用脈沖電化學陽極氧化的方法在5%的低HF濃度下獲得多孔硅.多孔硅的形成和脈沖電場的施加、去除過程中與電解液-硅半導體體系中物理化學過程的變化有關.在施加電場的間隙,由于Si/電解液界面處HF的補充,SiO2的溶解增強,使得在低HF濃度下Si的溶解速率比其氧化速率高,從而導致多孔硅的形成.同時,在高電場作用下,由于產生了高濃度的空穴,使得氧化層變厚,導致在低HF濃度或大電流密度下多孔硅的平均孔徑增大.

作 者： 葉超 寧兆元 程珊華   作者單位： 蘇州大學物理系,江蘇,蘇州,215006  刊 名： 功能材料  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS  年，卷(期)： 2002 33(2)  分類號： O649  關鍵詞： 多孔硅   脈沖電化學腐蝕   低HF濃度  

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