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p型透明導(dǎo)電氧化物CuAlO2薄膜的研究進(jìn)展

時間:2023-04-27 16:36:15 數(shù)理化學(xué)論文 我要投稿
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p型透明導(dǎo)電氧化物CuAlO2薄膜的研究進(jìn)展

透明導(dǎo)電氧化物(TCO)的出現(xiàn)開拓了光電子器件研究的新領(lǐng)域.但p型TCO的相對匱乏嚴(yán)重制約了透明氧化物半導(dǎo)體(TOS)相關(guān)器件的開發(fā)與應(yīng)用.CuAlO2作為一種天然的p型TCO成為近年來p型TCO的研究熱點.介紹了p型TCO的研究現(xiàn)狀,綜述了不同制備方法制備p型CuAlO2薄膜的研究進(jìn)展,以及在器件方面的應(yīng)用,并對其前景進(jìn)行了展望.

p型透明導(dǎo)電氧化物CuAlO2薄膜的研究進(jìn)展

作 者: 李軍 蘭偉 張銘 董國波 嚴(yán)輝 LI Jun LAN Wei ZHANG Ming DONG Guobo YAN Hui   作者單位: 北京工業(yè)大學(xué)材料學(xué)院薄膜實驗室,北京,100022  刊 名: 材料導(dǎo)報  ISTIC PKU 英文刊名: MATERIALS REVIEW  年,卷(期): 2007 21(3)  分類號: O6  關(guān)鍵詞: 透明導(dǎo)電氧化物(TCO)   p型TCO   CuAlO2薄膜  

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