- 相關(guān)推薦
摻磷納米硅薄膜的微結(jié)構(gòu)
采用喇曼(Raman)散射譜、高分辨率電子顯微鏡(HRTEM)和原子力顯微鏡(AFM)對摻磷納米硅薄膜的微結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析,并對納米硅薄膜的傳導(dǎo)機(jī)制進(jìn)行了探討.結(jié)果表明:摻磷納米硅薄膜由尺寸為2～4*#nm的晶粒和2～3個原子層厚的非晶界面構(gòu)成,計(jì)算得到薄膜的晶態(tài)比為40%～55%.與本征納米硅薄膜相比,摻磷納米硅薄膜晶粒尺寸和晶態(tài)比沒有明顯變化,電導(dǎo)率卻提高了2個數(shù)量級.隨著摻磷濃度增加,納米硅薄膜的晶粒尺寸、晶態(tài)比及電導(dǎo)率逐漸增大.AFM觀察表明摻磷納米硅薄膜由尺寸介于15～20*#nm的團(tuán)簇構(gòu)成,團(tuán)簇排列具有帶狀特征.
作 者： 于曉梅 王金良 江興流 王天民 作者單位： 北京航空航天大學(xué),理學(xué)院 刊 名： 北京航空航天大學(xué)學(xué)報(bào) ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF BEIJING UNIVERSITY OF AERONAUTICS AND ASTRONAUTICS 年，卷(期)： 2002 28(5) 分類號： O484.1 關(guān)鍵詞： 硅薄膜 晶粒 顯微鏡 團(tuán)簇【摻磷納米硅薄膜的微結(jié)構(gòu)】相關(guān)文章：
納米硅鑲嵌復(fù)合薄膜退火前后的微結(jié)構(gòu)及發(fā)光特性研究04-26
含納米硅和納米鍺的氧化硅薄膜光致發(fā)光的比較研究?04-27
4H-SiC納米薄膜的微結(jié)構(gòu)及其光電性質(zhì)研究04-27
硅納米管電極電池04-26
納米ZnO薄膜制備及液態(tài)源摻雜04-27
硅襯底上Zn1-xMgxO薄膜的結(jié)構(gòu)與光學(xué)性質(zhì)04-26
納米碳酸鈣去除水中磷的實(shí)驗(yàn)研究04-26