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熱解碳化學(xué)氣相沉積中的多重定態(tài)和非平衡相變的研究

時(shí)間:2023-04-29 21:00:00 數(shù)理化學(xué)論文 我要投稿
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熱解碳化學(xué)氣相沉積中的多重定態(tài)和非平衡相變的研究

討論在熱解碳化學(xué)氣相沉積過(guò)程中出現(xiàn)的多重定態(tài)和非平衡相變這一典型的非平衡物理現(xiàn)象的機(jī)理和發(fā)展趨勢(shì).通過(guò)理論分析和實(shí)驗(yàn)結(jié)果的分析發(fā)現(xiàn)熱解碳化學(xué)氣相沉積的化學(xué)反應(yīng)是一個(gè)典型的非平衡化學(xué)反應(yīng),其中在沉積過(guò)程中出現(xiàn)的生成碳黑的過(guò)程是一個(gè)典型的非平衡相變.在這一非平衡化學(xué)反應(yīng)中,自由基的反應(yīng)模型符合Schlogl模型.在這一非平衡化學(xué)反應(yīng)中,有線性區(qū)和非線性區(qū),線性區(qū)的產(chǎn)物是熱解碳,而非線性區(qū)是碳黑.在線性區(qū),反應(yīng)速率方程是唯一的、線性的,而在非線性區(qū),反應(yīng)速率方程是多重的、非線性的.

熱解碳化學(xué)氣相沉積中的多重定態(tài)和非平衡相變的研究

作 者: 閆桂沈 李賀軍 郝志彪   作者單位: 閆桂沈(西北工業(yè)大學(xué)材料科學(xué)與工程系,西安,710072;航天科技集團(tuán)公司第四研究院四十三研究所,西安,710025)

李賀軍(西北工業(yè)大學(xué)材料科學(xué)與工程系,西安,710072)

郝志彪(航天科技集團(tuán)公司第四研究院四十三研究所,西安,710025) 

刊 名: 物理學(xué)報(bào)  ISTIC SCI PKU 英文刊名: ACTA PHYSICA SINICA  年,卷(期): 2002 51(2)  分類(lèi)號(hào): O4  關(guān)鍵詞: 非平衡化學(xué)反應(yīng)   非平衡相變   化學(xué)氣相沉積   Schlogl模型   熱解碳  

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