稀土Ce2O3摻雜TiO2薄膜的結構和光學特性

采用真空熱蒸發(fā)法在玻璃、單晶硅襯底上制備Ce2O3摻雜TiO2薄膜,研究熱處理和Ce2O3摻雜對薄膜性能的影響.結果顯示,熱處理可明顯改善薄膜的結構和光學性能,Ce2O3摻雜可降低薄膜晶型轉化溫度.TiO2薄膜(玻璃襯底)經(jīng)600℃熱處理由銳鈦礦轉為金紅石結構;當摻Ce2O3含量為5at%時熱處理溫度為500℃薄膜就已開始發(fā)生晶型轉變.薄膜表面顆粒較均勻,存在程度不同的孔洞和顆粒聚集現(xiàn)象;摻Ce2O3后薄膜表面致密度明顯增強.薄膜(玻璃襯底)的光學帶隙從3.74 eV降至3.60 eV.

作 者： 汪良 李健 高燕 WANG Liang LI Jian GAO Yan   作者單位： 內(nèi)蒙古大學理工學院物理系,內(nèi)蒙古,呼和浩特,010021  刊 名： 真空  ISTIC PKU 英文刊名： VACUUM  年，卷(期)： 2007 44(6)  分類號： O484  關鍵詞： 真空熱蒸發(fā)   TiO2薄膜   Ce2O3摻雜   結構和光學特性  

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