絨面ZnO:Al(ZAO)透明導(dǎo)電薄膜的制備

利用中頻交流磁控濺射方法,采用氧化鋅鋁(98wt%ZnO+2wt%Al2O3)陶瓷靶材制備了絨面ZAO(ZnO:Al)薄膜,考察了所制備的絨面ZAO薄膜與絨面SnO2:F薄膜在絨度、粗糙度、表面形貌以及電學(xué)性質(zhì)的差異,利用原子力顯微鏡對(duì)薄膜表面形貌進(jìn)行了分析并計(jì)算出薄膜表面粗糙度,利用紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)和電阻測(cè)試儀測(cè)量了薄膜的光學(xué)、電學(xué)特性.結(jié)果表明:所制備的絨面ZAO薄膜具有與絨面SnO2:F薄膜相比擬的各種性能,在非晶硅太陽(yáng)電池中具有潛在的應(yīng)用前景.

作 者： 付恩剛 方玲 莊大明 張弓   作者單位： 清華大學(xué)機(jī)械工程系,北京,100084  刊 名： 太陽(yáng)能學(xué)報(bào)  ISTIC EI PKU 英文刊名： ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA  年，卷(期)： 2003 24(5)  分類(lèi)號(hào)： O484  關(guān)鍵詞： 磁控濺射   絨面   ZAO薄膜   SnO2:F薄膜  

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