差動(dòng)光程差倍增法測(cè)量微小位移

基于差動(dòng)光程差倍增法將微小位移轉(zhuǎn)化為多倍光程差,通過(guò)電橋光電轉(zhuǎn)換電路,得到干涉條紋數(shù)的變化,采用差動(dòng)干涉方法,提高了光程改變量與位移量的比例,使微小位移的測(cè)量精度提高到亞微米量級(jí).

作 者： 江立輝 蔡春潮 梁建波 彭廣生 張紅 鄧誠(chéng)先 JIANG Li-hui CAI Chun-chao LIANG Jian-bo PENG Guang-sheng ZHANG Hong DENG Cheng-xian   作者單位： 華南理工大學(xué),理學(xué)院,廣東,廣州,510640  刊 名： 物理實(shí)驗(yàn)  PKU 英文刊名： PHYSICS EXPERIMENTATION  年，卷(期)： 2009 29(6)  分類號(hào)： O436.1  關(guān)鍵詞： 光程差倍增   差動(dòng)干涉   電橋  

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