二氧化硅納米薄膜非平衡熱導(dǎo)率研究

二氧化硅納米絕緣薄膜的傳熱是靠聲子在薄膜的振動(dòng)實(shí)現(xiàn)的.聲子在納米薄膜結(jié)構(gòu)中傳輸?shù)姆瞧胶庑杂绊懥吮∧さ臒釋?dǎo)率,3ω實(shí)驗(yàn)方法是一種可以對(duì)薄膜熱導(dǎo)率進(jìn)行瞬時(shí)測(cè)量的方法,本文采用3ω方法分別測(cè)量低頻率段和高頻段的二氧化硅薄膜溫升及二氧化硅薄膜的熱導(dǎo)率,對(duì)二氧化硅薄膜的非平衡熱導(dǎo)率進(jìn)行了分析.

作 者： 馬連湘 王向?qū)?段占立 王澤鵬 何燕 WANG Xiang-ning MA Lian-xiang DUAN Zhan-li WANG Ze-peng HE Yan   作者單位： 青島科技大學(xué),山東,青島,266500  刊 名： 低溫物理學(xué)報(bào)  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS  年，卷(期)： 2008 30(3)  分類號(hào)： O51  關(guān)鍵詞： 納米薄膜   熱導(dǎo)率   非平衡  

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