熱處理對(duì)氧化鎢薄膜結(jié)構(gòu)和電致變色性能的影響

電致變色(EC)材料在外加電壓作用下能可逆的改變其光學(xué)性能.近年來(lái)由于其在光調(diào)節(jié)裝置方面的應(yīng)用潛力,引起了廣大研究人員的興趣.其中氧化鎢是典型的電致變色材料.在本文中,電致變色氧化鎢薄膜由電子束蒸發(fā)WO3粉末的方法沉積在ITO透明導(dǎo)電玻璃上,所得薄膜在空氣氣氛中經(jīng)(250～550)℃,(1～4)h不同的熱處理,處理后的薄膜用XRD觀察其微觀結(jié)構(gòu)的變化,電致變色性能則由電化學(xué)方法測(cè)試.討論了熱處理溫度變化對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)和電致變色性能的影響.

作 者：   作者單位：   刊 名： 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 24(z1)  分類號(hào)： O484.4  關(guān)鍵詞： 氧化鎢   薄膜   電致變色   熱處理  

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