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微機電系統(tǒng)(MEMS)技術的研究與應用
微機電系統(tǒng)是源于微電子加工技術,融合了微機械制造、傳感、致動及微控制于一體的系統(tǒng).其特征尺寸極小,學科交叉廣泛;技術研究包括微系統(tǒng)理論、設計建模、微機械加工、微器件集成等多個方面;學科分類涵蓋了機械、力學、光學、流體、電磁學、生物學等各領域,在民品和軍品領域有許多熱點應用.本文介紹了微機電系統(tǒng)發(fā)展概況、微機電系統(tǒng)技術關鍵、微機電系統(tǒng)有關傳感器,以及微機電系統(tǒng)熱點應用和微機電系統(tǒng)技術的發(fā)展前景.
曲大成(信息科學技術學院,北京,100081)
刊 名: 科技導報 ISTIC PKU 英文刊名: SCIENCE & TECHNOLOGY REVIEW 年,卷(期): 2004 ""(4) 分類號: H TP TM O3 關鍵詞: 微機電系統(tǒng) MEMS 微機械加工 智能控制【微機電系統(tǒng)(MEMS)技術的研究與應用】相關文章:
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