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行星式化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器內(nèi)對(duì)流渦旋的數(shù)值模擬
摘要：針對(duì)三重進(jìn)口行星式CVD反應(yīng)器的輸運(yùn)過(guò)程進(jìn)行了二維數(shù)值模擬研究.通過(guò)改變反應(yīng)腔幾何尺寸、導(dǎo)流管位置、三重進(jìn)口流量組合、壓強(qiáng)、溫度等條件,研究反應(yīng)器內(nèi)對(duì)流渦旋的相應(yīng)變化.根據(jù)模擬結(jié)果,對(duì)這類反應(yīng)器中輸運(yùn)現(xiàn)象與外部參數(shù)的關(guān)系,特別是反應(yīng)腔內(nèi)對(duì)流渦旋的產(chǎn)生和發(fā)展作了較全面的分析和討論,給出了抑制對(duì)流渦旋、獲得薄膜生長(zhǎng)所需的最佳輸運(yùn)過(guò)程的條件. 作者： 左然[1] 張紅[1] 劉祥林[2] Author： ZUO Ran[1] ZHANG Hong[1] LIU Xiang-lin[2] 作者單位： 江蘇大學(xué)能源與動(dòng)力工程學(xué)院,江蘇,鎮(zhèn)江,212013中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所,北京,100080 期 刊： 工程熱物理學(xué)報(bào) ISTICEIPKU Journal： JOURNAL OF ENGINEERING THERMOPHYSICS 年，卷(期)： 2005, 26(4) 分類號(hào)： H8115 Q4725 關(guān)鍵詞： 化學(xué)氣相沉積 輸運(yùn)過(guò)程 熱對(duì)流 數(shù)值模擬 機(jī)標(biāo)分類號(hào)： TQ3 TN3 機(jī)標(biāo)關(guān)鍵詞： 行星式 化學(xué)氣相沉積 反應(yīng)器 對(duì)流渦旋 輸運(yùn)過(guò)程 反應(yīng)腔 外部參數(shù) 模擬研究 模擬結(jié)果 流量組合 進(jìn)口 幾何尺寸 二維數(shù)值 薄膜生長(zhǎng) 相應(yīng)變 導(dǎo)流管 壓強(qiáng) 溫度 位置 基金項(xiàng)目： 國(guó)家自然科學(xué)基金，國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃)，江蘇大學(xué)�？蒲泻徒谈捻�(xiàng)目 行星式化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器內(nèi)對(duì)流渦旋的數(shù)值模擬[期刊論文] 工程熱物理學(xué)報(bào) --2005, 26(4)左然 張紅 劉祥林針對(duì)三重進(jìn)口行星式CVD反應(yīng)器的輸運(yùn)過(guò)程進(jìn)行了二維數(shù)值模擬研究.通過(guò)改變反應(yīng)腔幾何尺寸、導(dǎo)流管位置、三重進(jìn)口流量組合、壓強(qiáng)、溫度等條件,研究反應(yīng)器內(nèi)對(duì)流渦旋的相應(yīng)變化.根據(jù)模擬結(jié)果,對(duì)這類反應(yīng)器中輸運(yùn)現(xiàn)象與外部參...【行星式化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器內(nèi)對(duì)流渦旋的數(shù)值模擬】相關(guān)文章：
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